在整个集成电子无尘车间中，电路的尺寸技术可以说是促进净化的关键点。电子无尘车间的制备方法越先进，芯片尺寸越小。然而，电子无尘车间电路上的颗粒物粒径小约1%～2%，在电子无尘车间中会成为废品，因为金属及类似是电子无尘车间的废品问题之一。
在平时，工作人员除了需要定期进行盆浴或淋浴外，还应当定期洗头。保持身体的清洁，尽量减少死皮数量。同时，在每次进入无尘车间之前，都应该对手进行彻底的清洁。平时看起来挺干净的手，其实也是一大污染源，能够将污染物从一处传到另一处。在清洗的时候，尤其应该注意指甲、指甲根部和手上的伤处。
在工作中，工作人员应当尽量避免或者减少接触设备的产品的次数，如果可以，还是采取全自动的生产流程。如果一定要接触的话，应该先洗干净手，并且戴上手套，防止对设备和产品造成污染。
对于要求比较高的无尘车间，还需要做无尘车间地面的防静电处理。通过使用防静电水磨石做面层，再通过铺设静电接地网来达到防静电效果。如果无尘车间地面采用防静电水泥砂浆，那么久需要添加静电接地网来达到防静电功能。一般来说，电子无尘车间对防静电的要求会比较高。