湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55时，冷却水管壁上会结露，如果发生在装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉，但当相对湿度低于30时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产佳温度范围为35—45。
洁净室内静电导致的事故有以下几方面；
1．静电电引起的静电电击，引起人和恐惧感，并可造成二次伤害(例如人因受电击而摔倒，由摔倒又致伤)；
2-静电放电引起的放电电流，可导致诸如半导体元件等破坏和误动作，例如将50块P- MOS电路放在塑料袋内，摇晃数次后，与非门栅严重击穿者计39块，失效率竞达78，这是因为半导体器件对静电放电十分灵敏；
3．静电放电产生的电磁波可导致电子仪器和装置的杂音和误动作；
4．静电放电的发光可导致照像肢片等感光破坏；
5．静电的力学现象可导致筛孔被粉尘堵塞，纺纱线纷乱，印刷品深浅不均和制品污染；净化工程
6．静电放电引起的危险的灾害是成为可燃物的火源井引起爆炸，例如国外文献统计，在手术室使用爆炸性麻醉剂的86000次中，爆炸的36次，其中由静电引起的达21次。
烟气热量容易积聚。无尘车间一般呈密闭状态，门窗少，发生火灾时，烟气热量不易向外散出，火源的热幅射经四壁反射室内迅速升温，同时造成烟气滞留，热量剧增，大大缩短室内各部位材料选到燃点的时间。烟雾毒性大。无尘车间内装修中使用了一些高分子合成材料，这些材料在发生燃烧时会产生大量浓烟，散发毒气，给人员逃生和消防人员救火带来很大的威胁。
无尘车间风管穿过需要封闭的防火防爆楼板或墙体是采取的措施。应设钢板厚度不小于1.6mm的预埋管或防护套管，无尘车间风管与防护套管之间应采用不燃柔性材料封堵。无尘车间风管穿越建筑物变形缝空间时，应设置柔性短管，无尘车间风管穿越建筑物变形缝墙体时，应设置钢制套管，无尘车间风管与套管之间应采用柔性防水材料填充密实。